BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室...
RF系列多孔金屬限流器、通過與不同規(guī)格的氣阻配件結合、安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負擔、避...
TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率...
VCR(Vacuum Coupling Retainer)過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。
MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...
BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求,整體金屬構造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
半導體制造:在半導體生產(chǎn)過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮氣等。VCR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質(zhì)進入生產(chǎn)設備,同時精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩(wěn)定性和可靠性。
HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經(jīng)高溫燒結制成,具有良好的機械性和剛性,耐高溫、耐腐蝕、透氣,易于清潔的特點;濾芯式的設計可更換濾芯,可以重復使用,使用壽命長;可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質(zhì),改善下游干燥機的功能,延長精密...
0F系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設計,過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容...
直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì),線型結構緊湊,用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體,以保護下游流體設備。最高工作壓力可達207bar;最高工作溫度204℃;多種過濾精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。廣泛應用于實驗室、...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...