恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設計的高性能氣體過濾設備。該過濾器采用全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm，能夠實現(xiàn)9-LRV清潔度，有效保障氣體的超高純度。此外，該過濾器支持高達100slpm的大流量，助力設備升級無憂，適用于多種半導體工藝氣體，確保系統(tǒng)的高效運行。

產品特點

●  整體316L不銹鋼結構

采用316L不銹鋼材質，確保過濾器在高壓和腐蝕性氣體環(huán)境中的穩(wěn)定性和耐用性。這種材質不僅堅固耐用，還具有優(yōu)異的耐腐蝕性能，能夠有效抵御各種化學物質的侵蝕。

●  小型化設計、結構緊湊、不占用空間

過濾器采用小型化設計，結構緊湊，不占用過多安裝空間。其優(yōu)異的氣體置換和解吸特性，確保氣體流動順暢，過濾效率高。

●  耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

過濾器能夠在高溫、高壓和腐蝕性環(huán)境中穩(wěn)定運行，確保氣體輸送系統(tǒng)的安全性和可靠性。其耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性使其成為半導體制造中不可或缺的設備。

●  電解拋光316L不銹鋼外殼

外殼采用電解拋光處理，表面光潔度高，減少氣體在輸送過程中的阻力和雜質吸附，進一步提升氣體的純凈度。

●  安裝與檢修便捷高效

過濾器的設計注重安裝和檢修的便捷性，采用機械密封技術，結構上與介質無焊接，確保密封性能的同時，降低了維護成本和設備停機時間。

●  采用機械密封、結構上與介質無焊接

采用機械密封技術，確保過濾器在運行過程中的密封性能，避免氣體泄漏。結構上與介質無焊接，進一步提高了過濾器的可靠性和安全性。

應用領域

●  半導體制造

在半導體制造中，氣體的純凈度直接影響芯片的質量和性能。SF系列IGS面板專用過濾器能夠有效去除氣體中的雜質，確保氣體的高純度，從而提高芯片的良品率和生產效率。

●  集成氣體輸送與控制系統(tǒng)

該過濾器兼容C型和W型多種密封規(guī)格，能夠無縫集成到現(xiàn)有的氣體輸送與控制系統(tǒng)中，實現(xiàn)高效的氣體凈化和輸送。

●  設備升級與模塊化設計

采用符合SEMI標準的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級。其緊湊的體型和便捷的安裝維護特性，使其成為設備升級的理想選擇。