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半導(dǎo)體氣體過濾器
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VCR高純度多孔金屬限流器氣體高流量過濾器100%氦氣測(cè)試

  • RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器，通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合，安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中，以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障，引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中，用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠，減少氣體流動(dòng)負(fù)擔(dān)，避免氣體過載引發(fā)不良后果。結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，更換便捷。

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RF系列多孔金屬限流器

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